机译:双前体LPCVD沉积的MEMS用多晶3C-SiC薄膜
机译:氢含量和网络连通性对a-SiC:H薄膜的热膨胀系数和热稳定性的影响
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机译:使用两个V型梁致动器表征LPCVD多晶SiC薄膜的热膨胀系数
机译:LPCVD SiC薄膜的合成和表征。
机译:热膨胀系数极低的固有黑色聚酰亚胺薄膜的制备和性能及其在黑色柔性覆铜箔层压板中的潜在应用
机译:使用两节V型束致动器表征LPCVD多晶SiC薄膜的热膨胀系数
机译:用热波和拉曼技术原位表征薄多晶金刚石薄膜质量。